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清洁化空气供给系统 -
清洁化空气供给系统
- 品牌日本伸和(Shinwa)
- 类型清洁化空气供给系统
- 型号
- 参数
清洁化空气供给系统实现洁净室里的化学污染物质几乎不存在的超清洁空间。请咨询想去除的物质，可以提供最适合的去除装置通过吸附部的自我再生处理功能来实现设备的随时点检与化学过滤器不同，可以保持初期性能通过与精密空调设备的组合可以做到高精度温度，湿度控制系统特征供给风量能力5.0m3／min～100m3／min基本性能NH3除去率：99.8％有机物去除率：99.0％NOX，SOX去除率：90.0％温度控制
清洁化空气供给系统
实现洁净室里的化学污染物质几乎不存在的超清洁空间。请咨询想去除的物质，可以提供最适合的去除装置
通过吸附部的自我再生处理功能来实现设备的随时点检
与化学过滤器不同，可以保持初期性能
通过与精密空调设备的组合可以做到高精度温度，湿度控制
系统特征
| 供给风量能力 | 5.0m3／min～100m3／min |
|---|---|
| 基本性能 | NH3除去率：99.8％ 有机物去除率：99.0％ NOX，SOX去除率：90.0％ |
| 温度控制精度 | ±0.1℃ |
| 海外安全规格 | 可以对应SEMI，CE，Rohs等规格 |
| 通信 | 可以对应各种通信规格 |
| 其他 | 以客户端控制方式来实现高精度控制精度 对应洁净度100级别 |
产品介绍
| 去除组合 10m3/min |
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| 960(W)×770(D)×1660(H) |
| 去除组合 20m3/min（节省占地面积型） |
|---|
| 1580(W)×1200(D)×2710(H) (※搭载温湿度控制器型) 水冷式冷冻机（R-407c) |
