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小流量用変換器一体形超音波流量計 UCM-04A/06A -
小流量用変換器一体形超音波流量計 UCM-04A/06A
- 品牌東京計装
- 类型超音波流量计
- 型号UCM-04A/06A
- 参数
UCM-04AUCM-04A/06Aは超純水、各種薬液などの流量を高精度かつ安定して計測できる小口径超音波流量計です。 検出器と変換器を一体にすることにより大幅な小形化、省スペース化を実現、また前面の7 セグメントとLED バーグラフで流量表示されますので現場でも流量確認が可能です。 接液部はすべて成型品の半導体産業向けPFA で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なク
UCM-04A
UCM-04A/06Aは超純水、各種薬液などの流量を高精度かつ安定して計測できる小口径超音波流量計です。
検出器と変換器を一体にすることにより大幅な小形化、省スペース化を実現、また前面の7 セグメントとLED バーグラフで流量表示されますので現場でも流量確認が可能です。
接液部はすべて成型品の半導体産業向けPFA で構成され、可動部がなく、液溜まりを生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造で、半導体装置などのクリーン度が要求されるプロセスに最適です。
流量計の入口、出口部は規格寸法のチューブになっており、各種PFA継手への接続が可能です。今まで単純な流量監視のみを行っていたプロセスにも簡単に接続可能です。
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
特 長 主な用途 ･ 半導体製造装置プロセスの純水・超純水の流量測定 主な仕様
・ 省スペース
・ メータ前面の7 セグメント、LED バーグラフで暗い場所でも流量の確認が可能
・ 専用コンフィグソフトを使用することで警報出力等のパラメータの設定変更が可能
・ 理想的なクリーン構造の検出器が内蔵
・ マグネットによるゼロ調整
・ RS-485 通信にてパラメータ設定
・ RoHS 対応
･ 各種薬液注入プロセスの流量測定
･ 高腐食性液体の流量測定
･ その他、小～中口径プロセス液体流量測定
洗浄装置の流量計測・制御に最適形式 UCM-04A UCM-06A 測定対象 液体全般 （気泡を含まない液体。浸透性の高い液体は除く） 流量レンジ 最大 0 ～ 3.0 L/min
最小 0 ～ 0.2 L/min最大 0 ～ 8.0 L/min
最小 0 ～ 1.0 L/min流体音速範囲 1000 ～ 2200 m/s 流体圧力 0 ～ 0.4MPa 流体温度 10 ～ 60℃ プロセス接続 PFA チューブエンド 接続口径 φ6.35×φ4.35チューブ φ9.53×φ6.35チューブ 材質 接液部: PFAケース: 耐熱ABSケーブルグランド: フッ素ゴムケーブルシース: PVC 精度 ± 1% F.S.
（但し流量レンジ0 ～ 500mL/min以下は±8mL/min）± 1% F.S.
（但し流量レンジ0 ～ 1000mL/min以下は±17mL/min）電源 DC 24V ± 10%、 消費電流 約86mA 警報出力 NPN オープンコレクタ（1 接点）、負荷定格DC30V、20mA 以内
上・下限警報。NO、NC電流出力 DC 4 ～ 20mA（負荷抵抗：500 Ω以下）
DC 0 ～ 20mA（負荷抵抗：500 Ω以下）ローカットオフ 0 ～ 30% F.S. 通信 モドバスプロトコル
RS-485（半2 重通信非同期）
ボーレート 19200 bps
マルチドロップ 最大32 台構造 IP64 相当（屋内仕様）
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