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クリーン ! 小流量液体用超音波流量計 UCUF-P シリーズ -
クリーン ! 小流量液体用超音波流量計 UCUF-P シリーズ
- 品牌東京計装
- 类型流量计
- 型号UCUF-P
- 参数
検出器 UCUF-04P 変換器 SFC-710 UCUF-Pシリーズは純水、超純水や各種薬液などの小流量を高精度に測定できる液体用小口径超音波流量計です。 接液部材質はすべて成型品の半導体産業向けPFA で構成され、可動部が全くなく、液溜まりが生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造です。 DSP搭載流量変換器SFC-710、流量コントローラFCA-7000等と組合せて使用できます。 半
検出器 UCUF-04P
変換器 SFC-710
UCUF-Pシリーズは純水、超純水や各種薬液などの小流量を高精度に測定できる液体用小口径超音波流量計です。
接液部材質はすべて成型品の半導体産業向けPFA で構成され、可動部が全くなく、液溜まりが生じやすいシール部もない理想的なクリーン構造です。
DSP搭載流量変換器SFC-710、流量コントローラFCA-7000等と組合せて使用できます。
半導体製造装置などクリーン度が要求される装置組込み用小流量測定ラインに最適です。
※記載事項は製品改良のため予告なく変更することがあります。
特 長
・ 口径4mmの最小0 ～ 100mL/minから口径6mmの最大0 ～ 8000mL/minまでの幅広い流量範囲を測定可能
・ 指示値の±1%と高精度(流速1m/s以上)
・ 高粘度薬液の流量測定が可能
・ 接液部はすべてPFAで、可動部、液溜まりがないクリーン 構造
・ 検出部はすべて樹脂製で腐食性雰囲気に強い設計
・ 検出器・変換器分離形でコンパクト
アプリケーション
・半導体・液晶ウェットプロセスの純水・超純水ライン
・CMP (Chemical Mechanical Polishing) スラリ液
・各種薬液注入ライン
・高腐食性液体ライン
・その他微小流量ライン
主な仕様
検出器UCUF-P 仕様
| 形式 | UCUF-04P | UCUF-06P |
|---|---|---|
| 測定対象 | 液体全般 | |
| 流体動粘度 | 0.8～ 40mm2/s | |
| 公称口径 | 4mm | 6mm |
| 流量レンジ | 最大 0 ～ 3000 mL/min 最小 0 ～ 100 mL/min | 最大 0 ～ 8000 mL/min 最小 0 ～ 400 mL/min |
| 測定精度 | 指示値の±1.0% (流速1m/s以上) 800 ～ 3000mL/min | 指示値の±1.0% (流速1m/s以上) 1700 ～ 8000mL/min |
| ±8 mL/min (流速 1m/s未満) 0 ～800mL/min | ±17 mL/min (流速 1m/s未満) 0 ～ 1700mL/min | |
| 流体温度 | 10～60℃ | |
| 流体圧力 | 0～0.5 MPa | |
| 音速範囲 | 1000～2200 m/S | |
| 接液部材質 | PFA | |
| プロセス接続 | PFAチューブエンド (チューブサイズ : 3/8") | |
| 専用ケーブル | 同軸ケーブル(PVCシース) 2本、標準長さ 5m (検出器に付属) | |
| コネクタタイプ | ロック付SMBコネクタ | |
| 構造 | IP65 | |
対応変換器
| 形式 | SFC-710 | SFC-720 | SFC-780 | FCA-7000 |
|---|---|---|---|---|
| タイプ | 耐気泡性能 改善タイプ | 耐気泡性能 改善タイプ | 耐気泡性能 改善タイプ | 流量コントローラとのユニット |
| 表示器 | あり | あり | なし | あり |
| 方 式 | DSP方式 | DSP方式 | DSP方式 | DSP方式 |
| コネクタ | ロック付SMBコネクタ | BNCコネクタ | BNCコネクタ | ロック付SMBコネクタ |
| CE | CE対応 | CE対応 | CE対応 | CE対応 |
| 鉛フリー | - | 鉛フリー | 鉛フリー | - |
| テクニカル ガイダンス | SFC-710カタログPDF | SFC-720カタログPDF | SFC-780カタログPDF | FCA-7000カタログPDF |
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